Batch형 진공 증발 시스템
배치 용량
직경 70mm 렌즈 약 180pcs
프로세스 시간
약 30분, 프로세스 조건에 따라 다름
사용 가능한 코팅 프로세스
반반사, 반정적, 반사적(미러) 등
(하이드로 및 슈퍼 하이드로포스코트 사용 가능)
하드웨어 사양
챔버 크기
직경 1,100mm
E-Beam 증발 소스
각각 25cc의 포켓 6개
Ion Beam Source
고온 음극이 있는 End-hall 타입
열증발원
보트
렌즈 홀더
돔형 단일 회전 홀더, 3개 세그먼트로 구분
진공펌프
회전 베인펌프가 장착된 터보분자펌프
(고객 요청 시 오일 확산 펌프 사용 가능)
냉간 트랩
CRYO-6 냉간 트랩 적용
난방온도
최대 150°C
두께감 모니터링
쿼츠 단일 센서 헤드
프로세스 가스
질량 흐름 제어기를 통해 공급되는 아르곤 및 산소
(고객의 요청에 따라 기타 가스 사용 가능)
시스템 제어
완전 자동 제어
필요한 설치 공간
5,000(W)mm * 3,800(D)mm * 2,800(H)mm (유지관리 공간 포함)
** 자세한 내용은 vtc1@vac-tec.co.kr 로 문의 하십시오.
