2010 ~ 2018
2011-2020
- 2019
- UHV MAGNTERON SPUTTER 장비 개발
- 2018
- UHV MBE & LMBE 장비 개발
- 2017
- E-BEAM WELDING 장비 개발
- 2016
- SPACE SIMULATION CHAMBER 개발(챔버 크기 : 5미터)
- 2015
- ION BEAM SPUTTER ION BEAM ETCHING 장비 개발
- 2011
- 터치스크린 용 IN LINE LOW TEMPERATURE SPUTTERING 장비 개발
2001-2010
- 2009
- 인쇄회로기판용 IN LINE LOW TEMPERATURE SPUTTER 장비 개발
- 2008
- 태양전지용 CIGS SOLAR CELL CO-EVAPORATION 장비 개발
- 2007
- ANODE LAYER TYPE LINEAR ION SOURCE 개발
- 2003
- 자외선 차단용 대형 광학코팅장비 개발 (챔버 크기: 4미터)
1991-2000
- 1997
- IN-LINE SPUTTER 장비 개발
- 1995
- IONIC-ARC 장비 개발
- 1992
- ECR 및 PLASMA ASHER 장비 개발
- 1991
- 한국과학기술부 프로젝트로 연세대학교와 공동으로 200keV 이온주입기 개발
- 1991
- 한국과학기술부 프로젝트로 KIMM 연구소와 공동으로 ARC REMELTING 장비 개발
1987-1990
- 1989
- 완전자동 광학증착장비(EVAPORATION MACHINE FOR OPTICS) 개발
- 1988
- 한국 최초로 SPUTTERING 장비 개발
- 1987
- Korea Vac-Tec Co., Ltd 설립. 한국 최초로 PECVD 장비 개발