인라인 TCO 스퍼터 장비는 다양한 크기의 유리 기판 위에 TCO 및 반반사 층을 분사하도록 설계 되었습니다

인라인 저온스퍼터 시스템은 전체 공정을 150도 미만 온도에서, 얇은 인쇄회로 기판에 마이크론 두께의 금속 층을 몇몇 개 스퍼터링 하도록 설계 하였습니다

컨셉 : 로크 챔버가 장착된 컴팩트 마그네트론 스퍼터링 기계